| Nazwa produktu: | Laserowy interferometryczny system pomiarowy SJ6000 | Liniowy zakres pomiarowy: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Rezolucja: | 1 nm | Dokładność częstotliwości lasera: | 0,05 ppm |
| Temperatura pracy:: | (0-40)℃ | Dynamiczna szybkość przechwytywania:: | 50KHz |
| Podkreślić: | System pomiaru interferometru laserowego 0,05 ppm,system pomiaru interferometru laserowego 1 nm |
||
Interferometria laserowa jest uznawana za metodę pomiarową o wysokiej precyzji i czułości, wykorzystującą długość fali światła jako kryterium, szeroko stosowaną w zaawansowanej produkcji. System interferometru laserowego SJ6000 wykorzystuje wysokowydajny generator lasera helowo-neonowego od dostawcy z USA, moduły kompensacji środowiskowej o wysokiej precyzji, zaawansowane przetwarzanie sygnału interferencji laserowej oraz wysokowydajny system sterowania komputerowego.
Wykorzystując technologię stabilizacji częstotliwości termicznej z podwójnym podłużnym trybem lasera i konstrukcją optycznej ścieżki interferencyjnej parametrów geometrycznych, SJ6000 zapewnia długoterminowo stabilną, precyzyjną (0,05 ppm) emisję lasera w ciągu około 6 minut, z silną wydajnością przeciwzakłóceniową. Dzięki różnym modułom pryzmatycznym mierzy liniowość, kąt, prostoliniowość, płaskość, prostopadłość i analizuje charakterystyki dynamiczne.
| Parametry systemu | Czujniki środowiskowe |
|---|---|
|
Metoda pomiaru: Pojedyncza częstotliwość Dokładność częstotliwości lasera: 0,05 ppm Częstotliwość próbkowania dynamicznego: 50 kHz Czas rozgrzewania: ~6 minut Temperatura pracy: 0-40°C Środowisko: 0-40°C, 0-95% wilgotności Temperatura przechowywania: -20°C do 70°C |
Temperatura atmosferyczna: ±0,1°C (0-40°C), rozdzielczość 0,01°C Temperatura materiału: ±0,1°C (0-40°C), rozdzielczość 0,01°C Wilgotność atmosferyczna: ±5% (0-95%) Ciśnienie atmosferyczne: ±0,1 kPa (65-115 kPa) |
| Pomiar liniowy | Pomiar kąta |
|---|---|
|
Zakres pomiarowy: 0-80 m Dokładność pomiaru: 0,5 ppm (0-40°C) Rozdzielczość: 1 nm Maksymalna prędkość: 4 m/s |
Zakres osiowy: 0-15 m Zakres pomiarowy: ±10° Dokładność: ±(0,02%R+0,1+0,24M)″ Rozdzielczość: 0,1″ R = wartość wskazana (″), M = długość mierzona (m)
|
| Pomiar płaskości | |
|---|---|
| Zakres osiowy: 0-15 m | Zakres pomiarowy: ±1,5 mm |
| Dokładność: ±(0,2%R+0,02M²) μm | Rozdzielczość: 0,1 μm |
| Rozmiar podłoża: regulowany 180 mm, regulowany 360 mm | |
|
R = wartość wskazana (μm), M = długość mierzona (m)
|
|
| Pomiar prostoliniowości | Krótka prostoliniowość | Długa prostoliniowość |
|---|---|---|
| Zakres osi | 0,1-4 m | 1-20 m |
| Zakres pomiarowy | ±3,0 mm | ±3,0 mm |
| Dokładność | ±(0,5+0,25%R+0,15M²) μm | ±(5,0+2,5%R+0,015M²) μm |
| Rozdzielczość | 0,01 μm | 0,01 μm |
|
R = wartość wskazana (μm), M = długość mierzona (m)
|
||
| Pomiar prostopadłości | Krótka prostoliniowość | Długa prostoliniowość |
|---|---|---|
| Zakres osi | 0,1-3 m | 1-15 m |
| Zakres pomiarowy | ±3,0 mm | ±3,0 mm |
| Dokładność | ±(2,5+0,25%R+0,8M) μm/m | ±(2,5+2,5%R+0,08M) μm/m |
| Rozdzielczość | 0,01 μm | 0,01 μm |
|
R = wartość wskazana (μm), M = długość mierzona (m)
|
||